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半导体器件性能的好坏，在很大程度上取决于所用电子气体的质量，电子气体纯度每提高一个数量级，气体供应，都会极大地1推动半导体器件质的飞跃，正因如此，发达国家都在积极发展具有自主知识产权的电子化学气体，并且取得了明显的效果，由于电子气体质量决定着ic技术的发展，而半导体器件又广泛地应用于民用和军1工领域，且发展势头强劲，它影响到国民经济和国防的许多方面，因此，有关电子气体的生产、净化、包装、分析等在国际上多属高度保密的技术。同光电子、微电子工业一样，我国电子气体的研究与生产起步较晚，资金投入量也显得相对不足。改革开放以来，中国政府已将ic产业列为国家重点发展的支柱产业，因此，特种气体，电子工业、光电子产业、光纤制造业发展迅猛。

新华社北京３月１３日电（记者张泉、刘诗平）电子特种气体被称作电子工业的“血液”。中船重工７１８所副所长郭建增告诉记者，杭州气体，７１８所将努力打造世界重要的电子特种气体供应商，为我国集成电路产业发展提供坚实支撑。

电子特种气体是三氟化氮、六氟化钨等一系列特种气体材料的总称，是大规模集成电路、液晶面板行业生产的关键材料。然而，电子特种气体过去长期被国外企业垄断，严重影响我国半导体产业的发展与产业链完善，影响我国集成电路、半导体相关产品的国际竞争力。

特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体，另一类为混合气体。

气体产品大致可以分为两大类别， 即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。工业气体一般要求生产量大， 但对气体的纯度要求不高。特种气体则是用途有别于一般气体的气体，是一个笼统的概念。它在纯度、品种、性能等方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。一般认为， 它是由电子气体、高纯石油化工气体、标准混合气体组成。

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